Instrumentasi Modern Untuk Analisis Material

Energy disspersive spectroscopy (EDS, EDX, EDXS atau XEDS), kadangkadang disebut energy disspersive X-ray analysis (EDXA) atau energy disspersive X-ray microanalysis (EDXMA), adalah teknik analisis yang digunakan untuk analisis unsur atau karakterisasi kimia suatu sampel. Hal ini bergantung pada interaksi berkas elektron (e-beam) dan sampel dalam instrumen Scanning Electron Microscope (SEM). Kemampuan karakterisasinya sebagian besar disebabkan oleh prinsip dasar bahwa setiap elemen memiliki struktur atom unik yang memungkinkan serangkaian puncak unik pada spektrum emisi elektromagnetik yang…